國產設備與國際先進技術水平的差距大幅縮短至2-3年。

在北京、上海、沈陽形成了裝備的骨干企業(yè)，部分企業(yè)形成超過十年的研發(fā)積累。

客戶的接受度在增強，部分國產12英寸設備在生產線上實現(xiàn)批量應用。

常州瑞擇微電子的光照清洗設備在12英寸生產線上應用，工藝從濕法向干法轉變，預計很快將應用于市場。

                                                                                               昆山帕斯卡真空技術有限公司

                                                                                                     2017年12月10日