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導熱管用真空泵
導熱管內部流體介質:
極低溫(-273~-70℃) 氦、氬、氪、氮、甲烷
低溫(-70~200℃) 氟利昂、氨、丙酮、甲醇、乙醇、庚烷、水
中溫(200~500℃) 萘、Dowtherm、thermex、硫、水銀
高溫(500~1000℃) 銫、銣、鉀、鈉
極高溫(>1000℃) 鋰、鈣、鉛、銦、銀
導熱管用泵:
導熱管生產過程中關鍵部分為真空封裝,目前國內大部分熱管生產除氣臺用泵多為油旋片真空泵搭配羅茨泵,這種泵組雖然價格低廉但是使用過程及使用成本偏高,需要經常更換油品,對泵的使用壽命有極大影響。因此不建議使用。
導熱管最佳用真空泵為干式螺桿真空泵,鑒于導熱管生產過程中有大量水汽及其它特殊液體,干式螺桿真空泵耐水汽和耐腐蝕性強,使用成本低。