無油渦旋真空泵的特點與應用領(lǐng)域

清潔的真空環(huán)境一直是科學家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境.自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開始,人們就試圖采用不同手段達到清潔真空的效果.時至今日,清潔真空獲得設備已經(jīng)發(fā)展到油泵、螺桿泵、活塞泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品.在現(xiàn)有的無油真空泵當中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點:

  ①.無油，無摩擦——真空腔內(nèi)無油，非接觸，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；

  ②.抽氣量大——雙渦旋盤，結(jié)構(gòu)與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；

  ③.抽氣效率高——帶有3-4個抽氣單元，壓差小；大氣與真空之間由O型圈密封，泄漏低；

  ④.非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低，振動小；

  ⑤.結(jié)構(gòu)簡單緊湊，相同尺寸下，運動半徑小，運行平穩(wěn)；

  ⑥.體積小，維修方便，維護費用低；

  ⑦.采用空氣冷卻，無需水冷。

  目前無油渦旋真空泵的應用領(lǐng)域為:

  ①.半導體行業(yè)——薄膜制備設備、半導體器件封裝設備；

  ②.科學儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；

  ③.機械設備行業(yè)——材料制備設備、真空檢測、材料提純設備；

  ④.化學工業(yè)；

  ⑤．醫(yī)療設備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備；

  ⑥．包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設備。