真空干燥就是將被干燥物件放在一個低真空的環(huán)境中，通過低真空環(huán)境降低水的沸點(diǎn)，使物件表面液態(tài)的水，在常溫下就開始沸騰并快速蒸發(fā)，達(dá)到快速干燥的目的，真空干燥不受溫度和被干燥物外形的影響，即便物件表面有深孔和溝槽也能被干燥。

真空干燥常用的真空方案：

干式真空泵（干式螺桿\\多段羅茨）：體積小，能耗低，耐水汽，價格昂貴。

水環(huán)羅茨真空機(jī)組：體積大、能耗高、耐水汽、價格便宜。

油旋片真空泵：體積小，能耗低，價格便宜，不耐水汽，前處理要求高，運(yùn)行不穩(wěn)定，故障率高。

真空干燥時，閥1、閥2打開，開水環(huán)泵，開始抽真空，當(dāng)腔體真空達(dá)到-90kpa時，真空計(jì)給出信號，啟動羅茨泵（羅茨泵屬于機(jī)械助力泵，不能在大氣壓下啟動，需要在真空下啟動）。

停機(jī)時先關(guān)閥2，再停羅茨泵，再關(guān)閥1，再關(guān)水環(huán)泵。