太陽能光伏工藝ALD 真空泵

ALD是原子層沉積薄膜鈍化技術(shù)，藝過程中產(chǎn)生的粉塵量比較大，國內(nèi)和國際上做ALD設(shè)備的不多，設(shè)備需要在很短的時間把腔體抽到一定的真空度，所以真空泵選型很大，韓國NCD用的阿爾卡特3060，這款真空泵由于結(jié)構(gòu)問題很容易卡機，維修保養(yǎng)費用非常高，

漢鐘在ALD有一定豐富經(jīng)驗，推出漢鐘PD3652延長真空泵的使用壽命，延長真空泵保養(yǎng)周期，得到客戶一致好評。