真空電極
真空電極的作用是將電流引入真空系統(tǒng)真空腔室中的連接件,以達(dá)到導(dǎo)線與腔室之間絕緣和密封的條件。
真空電極材料種類常見為玻璃、陶瓷金屬封接和真空用低壓高壓型真空電極。
真空電極連接方式可分為焊接、CF、KF。
真空電極規(guī)格示意圖:
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