在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵，才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求，同時又能夠長期穩(wěn)定的運行，延長真空泵維修維保時間，節(jié)約運行成本，保證生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)效率，保證設(shè)備產(chǎn)能。

在CVD、PECVD、ALD等工藝中，真空腔體會通入各種各樣的工藝氣體來完成產(chǎn)品表面薄膜工藝，這些工藝氣體在反應(yīng)過程中有時會大量粉塵或容易結(jié)晶，如果粉塵和結(jié)晶物不能及時排除真空泵外，就容易在真空泵內(nèi)沉積，堆積到一定量時就會造成真空泵葉輪、轉(zhuǎn)子等卡滯，需要及時下機保養(yǎng)和維護(hù)，否則的話就會造成真空泵的更大的損壞，但是干式泵的維護(hù)成本又比較昂貴，選擇一臺耐粉塵，維保周期長的真空泵是非常重要的。

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