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真空技術(shù)

漢鐘干式螺桿泵之PECVD應用

2018-07-23 點擊數(shù):848

漢鐘干式螺桿泵之PECVD應用

由于目前國內(nèi)半導體生產(chǎn)制造企業(yè)在半導體設備研發(fā)、技術(shù)不夠成熟、過于依賴國外的設備及技術(shù)且設備及技術(shù)被國外公司壟斷卡死。

因此半導體行業(yè)成為國家的重點改造及大力扶持的重中之重。針對半導體制造設備提出嚴格要求。

《中國制造2025》對于半導體設備國產(chǎn)化提出了明確要求:在2020年之前,90~32納米工藝設備國產(chǎn)化率達到50%,實現(xiàn)90納米光刻機國產(chǎn)化,封測關(guān)鍵設備國產(chǎn)化率達到50%。在2025年之前,20~14納米工藝設備國產(chǎn)化率達到30%,實現(xiàn)浸沒式光刻機國產(chǎn)化。到2030年,實現(xiàn)18英寸工藝設備、EUV光刻機、封測設備的國產(chǎn)化。

半導體的制造從硅砂至成品、很多工藝需要使用真空、由于國內(nèi)真空設備起步較德國、美國、日本等較晚、很多技術(shù)達不到要求、不得不選用進口泵。

漢鐘精機經(jīng)過多年來的摸爬滾打、在真空領(lǐng)域已然站穩(wěn)腳步、在化工醫(yī)藥、光伏、半導體及鋰電等行業(yè)的認可及口碑。漢鐘的生產(chǎn)技術(shù)工藝已然達到國際水準、箭頭直指國外各品牌。

響應國家號召、漢鐘螺桿真空泵成為國內(nèi)半導體設備替換首先品牌。

近年來國內(nèi)很多企業(yè)PECVD設備上采用漢鐘螺桿真空泵、感謝中國電子科技集團四十八所、天合光能股份有限公司、臺灣茂迪股份有限公司等等企業(yè)對漢鐘的認可及支持。

漢鐘品質(zhì)、值得信賴。

漢鐘干式螺桿泵之PECVD應用

由于目前國內(nèi)半導體生產(chǎn)制造企業(yè)在半導體設備研發(fā)、技術(shù)不夠成熟、過于依賴國外的設備及技術(shù)且設備及技術(shù)被國外公司壟斷卡死。

因此半導體行業(yè)成為國家的重點改造及大力扶持的重中之重。針對半導體制造設備提出嚴格要求。

《中國制造2025》對于半導體設備國產(chǎn)化提出了明確要求:在2020年之前,90~32納米工藝設備國產(chǎn)化率達到50%,實現(xiàn)90納米光刻機國產(chǎn)化,封測關(guān)鍵設備國產(chǎn)化率達到50%。在2025年之前,20~14納米工藝設備國產(chǎn)化率達到30%,實現(xiàn)浸沒式光刻機國產(chǎn)化。到2030年,實現(xiàn)18英寸工藝設備、EUV光刻機、封測設備的國產(chǎn)化。

半導體的制造從硅砂至成品、很多工藝需要使用真空、由于國內(nèi)真空設備起步較德國、美國、日本等較晚、很多技術(shù)達不到要求、不得不選用進口泵。

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