等離子清洗機的機構(gòu)分三個部分：控制單元，真空腔體，真空泵。

等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一定真空度下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運動狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。

在真空腔體里，通過射頻電源在一定的真空壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面．以達到清洗目的．

等離子清洗機常用的真空有：干泵和油泵

干泵有螺桿泵和渦旋泵這兩款真空泵極限真空度高1-10pa。

油泵是用雙極油旋片泵極限真空能達到1pa以下